七星流量計(jì)
簡要描述:七星流量計(jì),氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(jì)(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
產(chǎn)品型號: CS200
所屬分類:氣體流量控制器
更新時(shí)間:2023-03-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天 |
警告:必須要非常小心地處理有毒的、腐蝕性的或易燃易爆的氣體。在質(zhì)量流量控制器/ 流量計(jì)安裝之后,應(yīng)該*的檢查整個(gè)氣路以保證沒有氣體泄漏。通入腐蝕性氣體之前應(yīng)先通一個(gè)小時(shí)的干燥惰性氣體以清洗質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)。
重要提示:當(dāng)安裝質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)時(shí),確保產(chǎn)品通道所示的箭頭方向與流經(jīng)產(chǎn)品的氣體流動(dòng)方向相同
七星流量計(jì)在大多數(shù)應(yīng)用場合下,需要在氣路中安裝一個(gè)截止閥。截止閥與 MFC 或 MFM 間的截留加壓氣體將會(huì)產(chǎn)生清洗效果,用戶應(yīng)根據(jù)情況來決定截止閥的安裝位置(上游或下游)。為了防止污染,建議您在產(chǎn)品的上游管路中安裝過濾器。
注意 : 氣體質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);
SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 —— 273.15K ( 0℃ );
氣壓 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星流量計(jì) MFC/MFM 產(chǎn)品中心,單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同,單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S. (Full Scale): 滿量程值 ; S.P.(Set Point): 設(shè)定點(diǎn)值